三轴一体式设计：
★刚性大、能耗低、运用广、操控容易
特性：
★低载化空间设计、力矩刚性高、滚珠螺杆驱动高寿命
专利：
★具角度调整功能之精密滑台，解决习用传统方式所产生的问题
应用：
★AXYR 三轴一体式精密电动滑台可应用于小型面板生产、手机电子产业生产运用
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型号
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AXYR60-A2PR-ND
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AXYR80-A2PR-ND
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AXYR120-A2PR-ND
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AXYR60-A2PL-ND
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AXYR80-A2PL-ND
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AXYR120-A2PL-ND
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台面尺寸
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Ø60
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Ø80
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Ø120
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移动行程X轴
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±7.5mm
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±12mm
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±15mm
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移动行程Y轴
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±7.5mm
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±12mm
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±15mm
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移动行程θ轴
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±8.5°
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±10°
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传动方式
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螺杆传动
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轨道XY轴
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交叉滚柱导引式
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轨道θ轴
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滚珠循环式
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滑台材质/表面处理
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铝合金/黑色阳极处理
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精度等级
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P:精密型
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马达方向
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R: 右侧安装 / L:左侧安装
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XY轴解析度(脉冲)Full/Half
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5μm / 2.5μm
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θ轴解析度(脉冲)Full/Half
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0.0056°/0.0028°
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0.0047°/0.0023°
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0.0034°/0.0017°
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XY轴最高速度(全步级)
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10mm/sec
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θ轴最高速度(全步级)
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8°/sec
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XY轴单向定位精度
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10μm
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XY轴反复定位精度
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±1μm
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θ轴单向定位精度
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0.05°
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θ轴反复定位精度
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±0.01°
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荷重
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6kgf
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10kgf
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25kgf
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XY轴空转
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2μm
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θ轴空转
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0.01°
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平行度
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20μm
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30μm
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运动同心度
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20μm
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运动平行度
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10μm
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15μm
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马达类型
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2MS-N28D32A
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2MS-N28D45A
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马达厂牌
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GMT
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